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化学气相淀积工工艺作业安全规程

文件名称：化学气相淀积工工艺作业安全规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于化学气相淀积（CVD）工艺作业的全过程，包括设备操作、维护、清洁及废弃物处理等环节。制定本规程的目的是为了保障CVD工艺作业人员的安全健康，防止事故发生，确保生产环境的稳定。基本安全原则包括严格遵守国家相关法律法规、严格执行操作规程、强化安全意识、落实责任制。

二、作业准备

1.人员准备

a.所有参与CVD工艺作业的人员必须