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文档摘要

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探究ZnO:Ce薄膜制备工艺与性能的关联及应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与技术不断发展的当下，新型功能薄膜材料的研究一直是学术界和工业界的关注焦点。ZnO:Ce薄膜作为一种极具潜力的功能材料，在光电子、传感器等多个关键领域展现出独特的优势和广阔的应用前景，其研究对于推动材料科学的进步以及相关技术领域的发展具有重要意义。

ZnO是一种重要的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带半导体材料，室温下禁带宽度约为3.37eV，激子束缚能高达60meV。这些优异的物理特性赋予了ZnO薄膜出色的压电性、气敏性、压敏性和湿敏性，使其在压电传感器、气敏传感器、压敏电阻、透明导电薄膜以及光电