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《纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数》标准立项与发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheStandardizationProject:“Nanotechnologies—Description,measurementanddimensionalqualityparametersofgratings”

摘要

随着纳米科技的飞速发展，光栅作为核心基础光学元件与计量标准器，其性能的精确表征与量值统一已成为保障高端制造与精密测量产业发展的关键前提。本报告围绕《纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数》国家标准的立项工作