基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器：设计、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，传感器技术作为获取信息的关键手段，在各个领域中发挥着举足轻重的作用。微机电系统（MEMS）及芯片集成技术的出现，为传感器的发展带来了革命性的变化。MEMS技术是在微米级甚至纳米级尺度上，将机械结构与电路系统通过规模化制造工艺集成在芯片上的技术，它可把环境中的物理、化学量等被测信息转化为电信号，是传感器的使能技术。近年来，MEMS技术已写入国家“十四五”规划等重要政策文件中，各地方政策对MEMS传感器产业扶持力度也非常大，上马建设多条MEMS产线/中试线，中