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文档摘要

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TOC\o1-3\h\z\u153122026年先进光阻材料项目建议书 2

12843一、项目背景及意义 2

142161.1项目背景介绍 2

64221.2光阻材料行业现状及发展趋势 3

242331.3项目的重要性及其对市场的影响 4

20903二、项目目标与愿景 6

261702.1项目总体目标 6

301562.2先进光阻材料的研发目标 7

239102.3项目预期成果及时间表 8

10513三、项目内容 10

118663.1先进光阻材料的研发方向 10

221683.2技术路线及创新点