非水基流延法制备高性能ZTA陶瓷基板的关键技术与性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，半导体、电子封装等领域对高性能材料的需求日益增长。陶瓷基板作为这些领域中的关键材料，承担着支撑、绝缘、散热等重要功能，其性能优劣直接影响着电子器件的整体性能和可靠性。在众多陶瓷基板材料中，氧化锆增韧氧化铝（ZTA）陶瓷基板凭借其独特的性能优势，逐渐成为研究和应用的热点。

ZTA陶瓷是将氧化锆（ZrO?）引入氧化铝（Al?O?）陶瓷基体中形成的一种复相陶瓷材料。ZrO?在Al?O?陶瓷中能起到相变增韧和微裂纹增韧的作用，显著提高了氧化铝陶瓷的断裂韧性和抗弯强度，使其克服了传统氧