基本信息

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文档摘要

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ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

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GBT470892026

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的

测定方法

Testmethodfordeterminineometricalarametersofatternson

ggpp

atternedsahiresubstrate

ppp

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT470892026

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、、

本文件起草单位广东中图半导体科技股份有限公司徐州美兴光电科技有限公司京东方华灿光

、、、。

电股份有限公司天通银厦新材料有限公司松山湖材料实验室南京同溧晶体材料研究院有限公司

:、、、、、、、、、、。

本文件主要起草人张能米波肖桂明朱晶王子荣朱广敏康凯鲁雅荣王新强徐军袁冶

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