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文件名称：23.【海翔科技】瓦利安VARIAN 二手离子注入机 120XP.pdf
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总页数：3 页
更新时间：2026-02-14
总字数：约1.61千字
文档摘要
海翔科技#离子注入#应用材料
【海翔科技]】瓦利安VARIAN二手离子注入机120XP
梢于:本文取焦海革和技提供的列安VARIAN二手商于注入机120XP，辣过其在半号体代
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半生
一、引言
低能量高和注人
人和于二
和二可证
二、核心系统构成
2.1离子源系统
L可入定产生
再、磁，-15mA。元
允过