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文件名称：21.【海翔科技】瓦利安VARIAN 二手离子注入机 300XP.pdf
文件大小：477.13 KB
总页数：3 页
更新时间：2026-02-14
总字数：约1.53千字
文档摘要
海翔科技#离子注入#应用材料
【海翔科技]】瓦利安VARIAN二手离子注入机300XP
梢于:本文取焦海翔和技失供的克去VARIAN二手高于注入机300XP，辣述其在半号体中
EEE
和并放水
一、引言
中能量高入12
五。再利安工
下时和于
，在保障核心工艺指标
卫生
二、核心系统构成
2.1离子源系统