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文件名称：《微机电系统（MEMS）偏转镜重复定位精度测量方法》标准立项与发展报告.docx
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总页数：7 页
更新时间：2026-02-15
总字数：约4.46千字
文档摘要
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《微机电系统（MEMS）偏转镜重复定位精度测量方法》标准立项与发展报告
EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReportonMeasurementMethodforRepeatablePositioningAccuracyofMicro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)DeflectionMirrors
摘要
随着空间激光通信、激光雷达（LiDAR）、精密光学扫描等前沿技术的迅猛发展，微机电系统（MEMS）偏转镜作为实现光束快速、精确指向与稳定的“核心执行器件”，其性能直接决定了整个系