基本信息
文件名称：FWR晶圆搬运机器人晶圆搬运机器人FWR系列用户手册.pdf
文件大小：10.12 MB
总页数：8 页
更新时间：2026-02-16
总字数：约1.43万字
文档摘要
FWR系列
晶圆搬运机器人
产品手册
WaferTransRobot
Productmanual
设备特性DEVICECHARACTERISTIC
整机生产国产自主化，核心零部件专利自有
Robot内关键模块均为富创得自主专利，生产均在富创得自有生产基地内
进行。软硬件垂直整合，保证设备的标准性与一致性。
多样化的客制组件，适用多种工况
可选的多种末端执行器与直线模组，适用半导体与泛半导体的精密环境，
应对现场亟需满足的各种工艺工况需求。
久经测试的SmartMove功能，与易上手的教导设计
最