硅基微环微盘谐振腔：从基础原理到光子器件应用的深度探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在信息技术飞速发展的当下，对高速、大容量、低功耗数据传输和处理的需求日益迫切，光电子领域已成为研究的重点。硅基微环谐振腔作为光电子领域的核心部件，因其独特的性能和潜在的应用价值，受到了广泛关注。其具备小尺寸、高集成度、低功耗等优势，为实现光子集成电路的小型化、高性能化提供了可能。

硅基微环谐振腔是一种基于硅材料的微型光学谐振器件，通常由环形波导和直波导耦合组成。其工作原理基于光学的谐振和干涉效应，当光在环形波导中传播时，满足特定的谐振条件，如光的波长与环周长成整数倍关系，光会在环内形成稳定的谐振模式，光强