基本信息
文件名称:键合碳化硅外延片标准立项修订与发展报告.docx
文件大小:41.88 KB
总页数:4 页
更新时间:2026-02-18
总字数:约4.58千字
文档摘要
《键合碳化硅外延片》标准立项与发展研究报告
EnglishTitle:ResearchReportontheStandardizationDevelopmentofBondedSiliconCarbideEpitaxialWafers
摘要
本报告旨在系统阐述《键合碳化硅外延片》标准立项的背景、目的、核心内容及其对行业发展的战略意义。随着以碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体在新能源汽车、光伏储能、轨道交通等高压、高频、高温应用领域的加速渗透,降低衬底成本已成为推动产业规模化发展的关键瓶颈。键合碳化硅衬底技术作为一种创新的衬底解决方案,通过将高质量、超薄的4H-SiC