16新型传感器及其应用;16新型传感器及其应用;

16.1声表面波传感器;16.1.1延迟线型声表面波传感器的结构和工作原理;IDT的结构如图所示。

叉指周期为P、叉指间距为b、叉指宽度a，孔径为w。其中，P=2(a+b)。压电材料的选取、IDT和反射栅的指宽、叉指间隔等因素共同决定了SAW传感器的工作频率、品质因数、寄生抑制和敏感系数等参数。;2．延迟线型声表面波传感器的工作原理

延迟线型声表面波分为有源和无源两种。有源延迟线型声表面波传感器由一个输入叉指换能器和一个输出叉指换能器组成；无源延迟线型声表面波传感器由一