ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

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GBT470812026

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氮化硅粉体中铁铝钙含量的测定

电感耦合等离子体发射光谱法

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Determinationofironaluminumandcalciumofsiliconnitrideowder

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Inductivelcouledlasmaatomicemissionsectrometr

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2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT470812026

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

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本文件起草单位新疆新特新能材料检测中心有限公司四川永祥新能源有限公司山东中临半导

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体新材料有限公司洛阳中硅高科技有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司江苏鑫华半导体科技

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股份有限公司青海南玻新能源科技有限公司国标北京检验认证有限公司高富高新材料浙江

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有限公司松山湖材料实验室

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