基本信息
文件名称：碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法及编制说明.pdf
文件大小：1.13 MB
总页数：24 页
更新时间：2026-03-03
总字数：约2.27万字
文档摘要
ICS77.040
CCSH21
中华人民共和国国家标准
GB/TXXXXX—XXXX
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碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Testmethodforthecontentofimpurityelementonthesurfaceofsiliconcarbide
wafer—Inductivelycoupledplasmamassspectrom