基本信息
文件名称：GB/T 34326-2026表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法.pdf
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总页数：5 页
更新时间：2026-03-04
总字数：约8.34千字
文档摘要
ICS71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT343262026ISO165312020
代替/—
GBT343262017
表面化学分析深度剖析和
AESXPS
深度剖析时离子束对准方法及其束流或
束流密度的测量方法
——
SurfacechemicalanalsisDethrofilinMethodsforionbeam
yppg
alinmentandtheassociatedmeasurementofcurrentorcurrent
g
densitfordethrofilininAESandXPS
yppg
(:,)
ISO165312020IDT
2026-01-28发布2026-08-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT343262026ISO165312020
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
、、………………
3术语定义符号和缩略语1
4系统要求…………………2
5离子束对准方法…………………………3
6何时离子束对准及对准检查……………12
()……………
附录资料性在离子束对准优劣情况下深度剖析结果的比较
AAES