基本信息
文件名称：氮化铝单晶复合衬底及编制说明.pdf
文件大小：1022.14 KB
总页数：25 页
更新时间：2026-03-04
总字数：约2.3万字
文档摘要
ICS29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
GB/TXXXXX—XXXX
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氮化铝单晶复合衬底
Monocrystallinealuminumnitridecompositesubstrate
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