基本信息

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文档摘要

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ICS37.02001.040.37

CCSN33

中华人民共和国国家标准

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GBT234142026ISO224932014

代替/—

GBT234142009

微束分析扫描电子显微术术语

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MicrobeamanalsisScanninelectronmicroscoVocabular

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(:,)

ISO224932014IDT

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT234142026ISO224932014

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3缩略语……………………1

4SEM物理基础术语和定义………………1

5SEM仪器术语和定义……………………5

6SEM成像和图像处理的术语和定义…………………11

7SEM图像诠释和分析的术语和定义…………………15

8SEM图像放大倍率和分辨率校正及测量的术语和定义……………17

参考文献……………………19

索引…………………………20

Ⅰ

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GBT234142026ISO224932014

前言