压力传感器的发展研究国内外文献综述

目录

TOC\o1-3\h\u20535压力传感器的发展研究国内外文献综述 1

95891.1国外研究现状 1

188401.2国内研究现状 7

263151.3国内外发展简析 11

21196参考文献 12

1.1国外研究现状

国际上对于硅压力差传感器的研究比较早，所研究的范围和深度也相对较广泛和深入。国外的研究机构主要包含有公司和高等科研院所，下面我们将会详细的介绍一下。

目前常用的基于硅材料的压力传感器有SOI单晶硅压力传感器、基于蓝宝石的压力传感器以及基于SiC碳化硅材料的压力传感器[14-16]。

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