基本信息
文件名称：2026《小尺寸MEMS压阻式压力传感器的设计与仿真分析案例》6300字.doc
文件大小：32.28 MB
总页数：13 页
更新时间：2026-03-04
总字数：约8.93千字
文档摘要
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小尺寸MEMS压阻式压力传感器的设计与仿真分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u12302小尺寸MEMS压阻式压力传感器的设计与仿真分析案例 1
267651.1Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器的设计 1
312731.1.1四周固支薄膜设计 1
170181.1.2压敏电阻设计 3
99281.1.2平面与厚度设计 7
256141.2Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器的仿真 9
183941.2.1挠度与应力仿真 10
315001.2.2电势与输出仿真 11
290261.3小结