SiC功率器件衬底切割工艺参数优化及设备改造项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件衬底切割工艺参数优化及设备改造项目

建设单位

中科晶能半导体科技有限公司于2023年5月在江苏省无锡市新吴区市场监督管理局注册成立，属有限责任公司，注册资本金5000万元人民币。核心经营范围包括半导体器件及专用设备研发、生产、销售；集成电路制造；电子材料研发与应用；货物及技术进出口业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

技术改造及扩建

建设地点

江苏省无锡市新吴区无锡高新技术产业开发区半导体产业园内

投资估算及规模

本项目总投资估算为38650.7