ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT470732026ISO231702022

表面化学分析深度剖析中能离子

散射术对硅基底上纳米尺度

重金属氧化物薄膜的无损深度剖析

——

SurfacechemicalanalsisDethrofilinNon-destructive

yppg

dethrofilinofnanoscaleheavmetaloxidethinfilmson

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Sisubstrateswithmediumenerionscatterin

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(:,)

ISO231702022IDT

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT470732026ISO231702022

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4MEIS分析的原理和建议………………1

5MEIS分析………………2

6MEIS谱模拟……………2

7MEIS谱分析结果报告…………………4

()……………………

附录资料性实验室间测试报告

A5

()……

附录资料性谱模拟程序源代码列表和使用进行谱模拟的程序

BMEIS