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文件名称:条状过孔成大势所趋.docx
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更新时间:2026-03-08
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文档摘要
第
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条状过孔成大势所趋
削减过孔数量很重要,由于28纳米及以下节点设计所需的传统过孔数量显著增强,究其缘由主要有两点:第一,28纳米及以下节点的金属层显然增多,因而需要更多的衔接;其次,这些设计节点浮现了新的设计要求。例如,因为必需分解几何图形,双重成像层可能会增强所需的过孔数量,而迁移限制使得电源/接地线需要更多不同类型的过孔。
随着过孔数量的增多,确保在布局布线过程中正确放置和挑选过孔所需的规章的数量和复杂性也显著增强。过孔插入的复杂性快速提高主要有四个缘由:
在小的节点设计中,连线更具挑战性,不仅需要新的配置,(这些配置