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超导量子磁强计传感器（SQUID）的发展研究国内外文献综述

1.1SQUID发展历史

1962年，Josephson[7]在理论上研究了一个S-I-S型的约瑟夫森结（即一超导电极-绝缘势垒层-超导电极结构），预言电子对能够通过绝缘层发生量子隧穿（即约瑟夫森效应），并且在次年由Anderson和Rowell[8]通过实验证实。1964年，Silver和Mercereau[9]用两个S-I-S结并联在超导环上，实现了第一个直流SQUID，但是受当时工艺的限制，这一器件的性能较差，实用性不高。1965年，Silve