基本信息
文件名称：200mm碳化硅单晶抛光片及编制说明.pdf
文件大小：676.07 KB
总页数：28 页
更新时间：2026-03-08
总字数：约2.92万字
文档摘要
Ψ
ICS29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
GB/TXXXXX—XXXX
200mm碳化硅单晶抛光片
200mmpolishedmonocrystallinesiliconcarbidewafers
（征求意见稿）
XXXX-XX-XX发布