基本信息
文件名称：高温扩散用硅舟及硅保温筒及编制说明.pdf
文件大小：682.33 KB
总页数：25 页
更新时间：2026-03-08
总字数：约2.12万字
文档摘要
国家标准
高温扩散用硅舟及硅保温筒
编制说明
（征求意见稿）
标准编制组
1工作简况
1.1立项目的和意义
高温扩散炉用硅舟及硅保温筒主要用于8～12英寸晶圆的氧化、扩散及退火工艺中。在集成电路
制造工艺过程中，采用高纯度硅材料制备的硅舟及硅保温筒与晶圆为相同硅材料，具备与晶圆更好的
工艺兼容性，是当前碳化硅舟及石英舟的有效替代产品，因此广泛应