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压电喷墨打印头的工作原理分析

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TOC\o1-3\h\u26286压电喷墨打印头的工作原理分析 1

173741.1压电喷墨打印头结构 1

142891.2弯曲式压电喷墨打印头的驱动原理 1

1.1压电喷墨打印头结构

本文研究的弯曲式压电喷墨打印头结构如图2-1所示，主要由压电驱动器和流体通道构成。压电驱动器的结构组成依次为SiO2振动板、PZT（锆钛酸铅Pb(ZrxTi1-x)O3）压电薄膜、铂金（Pt）电极和Parylene保护层。其中，SiO2振动板是由经过高温干氧氧化的单晶硅制成的，铂金电极则是利用溅射法制备而成，并且在它的上面利用溶胶-凝胶法生成P