基本信息
文件名称：TTMAC-中束流离子注入机能量精度控制技术规范及编制说明.pdf
文件大小：315.88 KB
总页数：17 页
更新时间：2026-03-09
总字数：约1.24万字
文档摘要
ICS31.080.01
CCSL97
T
团体标准
T/TMAC×××—2026
中束流离子注入机能量精度控制技术规范
Technicalspecificationfore