基本信息
文件名称：TCAEE-光刻胶去除工艺技术成熟度评价规范及编制说明.pdf
文件大小：484.18 KB
总页数：20 页
更新时间：2026-03-11
总字数：约5.45千字
文档摘要
《光刻胶去除工艺技术成熟度评价规范》
团体标准（征求意见稿）
编制说明
标准编制工作组
2026年1月
目录
一、任务来源1
二、编制背景和目的2
三、编制过程4
四、主要起草单位及起草人所做的工作4
五、标准的编制原则5
六、标准主要内容5
七、标准水平分析5
八、与现行法律法规和相关标准的协调情况7
九、重大分歧意见的处理经