MEMS工艺赋能下的微型金属桥膜点火器件的关键技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

微型金属桥膜点火器件作为含能材料燃烧与爆炸常用的初始能源之一，在武器装备和国民经济领域都有着广泛的应用。在武器装备中，其在微小型卫星推进系统、火箭发动机点火系统、战斗部的传火与传爆序列以及导弹的弹道修正和安全保险装置等军用领域发挥着重要作用；在民用领域，水电建设、道路建设、桥梁、隧道基础开挖、定向爆破以及安全保护气囊等场景也离不开它。传统的桥丝式电火工品存在能量转换效率较低、集成度不好、难以实现与火工品其它部件的集成化生产等问题。而金属薄膜桥点火器具有发火性能稳定、高工艺一致性、低发火能量等优