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文件名称:特种气体系统使用安全技术规范.pdf
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总页数:4 页
更新时间:2026-03-12
总字数:约2.52千字
文档摘要
特种气体系统使用安全技术规范
引言引言
特种气体(SpecialtyGases)是指具有特殊物理、化学性质,
用于特定工业领域(如半导体、光伏、医疗、冶金、航空航天等)
的高纯度或功能性气体。其种类涵盖的高纯度或功能性气体。其种类涵盖易燃易爆气体(如氢气、甲
烷)、有毒有害气体(如一氧化碳、氯气)、腐蚀性气体(如氯化
氢、氟化氢)、窒息性气体(如氮气、氩气)及高活性气体(如氧
气、臭氧)等。由于特种气体多具有易燃易爆、毒性强、腐蚀性高
或反应活性大的特点,其系统的设计、安装、运行及维护需严格遵
循安全技术规范,以防范