TOC\o1-3\h\z\u26649硅片生长过程中热场流场多物理场耦合数值模拟应用 2

31350一、引言 2

30672研究背景及意义 2

2786国内外研究现状 3

30455本文研究目的与内容 4

11979二、硅片生长基础知识 5

3914硅片生长原理简介 5

8520热场在硅片生长中的作用 7

11917流场对硅片生长的影响 8

25591三、多物理场耦合数值模拟理论 9

30525物理场耦合概述 9

330数值模拟方法介绍 11

15407热场与流场耦合模型建立 12

21070四、数值模