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Mn掺杂ZnO薄膜的方法综述

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TOC\o1-3\h\u12163Mn掺杂ZnO薄膜的方法综述 1

50451.1溶胶-凝胶法 1

238851.2喷雾热解法 3

ZnO是一种具有高的热稳定性和低廉的价格，无毒、透明的半导体。通过向ZnO薄膜中掺杂离子，来改善ZnO薄膜的带隙能量、光吸收率、电阻率等特性，使该材料成为液晶监视器、压电传感器和蓝色发光二极管等应用的理想选择。一些研究小组一直致力于用Mn、Al、Co、In等元素掺杂ZnO薄膜[19]，其中Mn是ZnO纳米结构中常用的掺杂元素之一。用Mn掺杂ZnO有助于将其掺