基于PLD技术的透明氧化物IGZO薄膜光电特性研究：制备、性能与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子技术飞速发展的时代，透明氧化物半导体薄膜以其独特的光电特性，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了材料科学和电子学领域的研究热点。透明氧化物半导体薄膜不仅在可见光范围内具有高透光率，还具备一定的导电性，这使得它在平板显示器、太阳能电池、触摸屏以及传感器等众多电子器件中发挥着关键作用。这些器件广泛应用于日常生活、信息通信、能源转换等多个领域，对推动现代科技的发展和改善人们的生活质量起到了重要作用。

氧化铟镓锌（IGZO）薄膜作为一种典型的透明氧化物半导体薄膜，近年来受到了科研人员的