探析MEMS力学量传感结构单面加工技术：原理、优势与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术已成为众多领域创新发展的关键支撑，在全球科技竞争格局中占据着举足轻重的地位。MEMS技术通过将微电子技术与机械工程相结合，实现了微型化的机械结构、传感器、执行器以及信号处理和控制电路等在同一芯片上的集成，具备体积微小、重量轻盈、功耗较低、成本不高、可靠性强、适于批量化生产以及易于集成和智能化等显著优势。

自20世纪60年代首个微型传感器诞生以来，MEMS技术经历了漫