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文件名称：2026《Al掺杂ZnO薄膜的方法综述》6800字.docx
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更新时间：2026-03-16
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Al掺杂ZnO薄膜的方法综述
目录
TOC\o1-3\h\u5759Al掺杂ZnO薄膜的方法综述 1
303711.1溶胶-凝胶法 1
11671.2喷雾热解法 5
68401.3原子层沉积法 9
306261.4共喷涂技术 12
95081.5喷墨打印法 14
为了改善ZnO的性能，使ZnO得到更广泛的应用，研究人员尝试了掺杂过渡金属、引入表面缺陷、粒径改性等多种方法。其中，掺杂过渡金属是改善ZnO热电性能、提高ZnO光催化活性和降低ZnO薄膜电阻率最有