第五章光电子能谱分析X-ra;概述——表面分析技术光电子能;表面表面分析技术表面分析得;表面：固体最外层的1~10个;表面分析的意义表面分析常用于：;表面分析技术(Surface;X射线光电子能谱分析（X-ra;物质表面层的化学成分（除氢元素;光电效应光电子能谱分析基本原理;式中：hv——入射光辐射能量A;图5-2原子的去激发过程;根据爱因斯坦光电效应定律，光电;元素分析鉴定、元素价态分析等。;光电子能谱分析基本原理一次粒子;图5-11标准XPS谱图示;化学位移——因原子所处化学环境;例如：金属铝Al：在化学上为零;内层电子一方面受到原子核强烈的;三、伴峰和谱峰分裂伴峰——能谱;2.谱峰分裂谱峰分裂——能谱中;光电子能谱仪的结构激发光源光电;XPS的仪器Instrume;电子能谱仪主要由激发光源、光电;XPS的仪器Instrumen;电子能谱仪通常采用的激发源有三;电子能量分析器是探测样品发射出;半球形电子能量分析器图5-1;筒镜形电子能量分析器图5-1;检测目的——通过计数的方式测量;电子能谱仪的真空系统有两个基本;样品制备样品处理测定的注意事项;电子能谱仪原则上可以分析固体、;一、样品制备1.粉末样品通常把;2.块状样品可以直接固定在样;3.液体与气体样品液体样品直接;二、样品的预处理样品常常;三、测定的注意事项;2.能量轴的标定和校正;能级结合能（eV）能级结合;3.仪器操作条件的选择仪器的;元素的定性分析元素的定量分析固;1.XPS定性分析依据XPS产;2.XPS定性分析方法元素（及;图5-11标准XPS谱图示;2.XPS定性分析方法分析时首;XPS定性分析图5-13;影响谱峰强度的因素仪器因素光;化合物的结构与它的物理、化学性;1.玻璃表面的研究;2.水泥熟料中硅酸钙的水化表面;第六节俄歇电子能谱分析（A;一、俄歇电子能谱分析俄歇电子能;俄歇电子能谱分析特点：AES具;1.俄歇电子当原子内壳层的一个;俄歇电子表示方法：;2.俄歇电子产额俄歇;俄歇电子的能量一般只在几十到几;双电离状态的修正;常用的俄歇电子能谱有直接谱和微;微分谱的特点：直接谱上的一个峰;5.俄歇电子谱中的化学效应化学;原子电荷转移（如价态变化）;价电子态密度变化涉及价带的俄??;俄歇电子逸出样品表面时由于能量;定性分析定量分析表面元素价态分;1.表面元素定性分析1）定性分;2）定性分析方法：将实测的俄歇;3）定性分析案例：;2.表面元素定量分析1）定量分;2）定量分析方法：将;俄歇化学位移比XPS的化学位移;2）价态分析案例图5-19;4.元素沿深度（厚度）方向分布;2）元素深度分布分析案例;4.微区分析1）定点分析俄歇;2）线扫描分析可以在微观和宏观;3）线扫描分析俄歇电子能谱的面;特点：作为固体表面;谢谢大家！ThankYou！