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*8.10其他传感器8.10.5微传感器微传感器是尺寸微型化了的传感器，是利用集成电路工艺和微组装工艺将基于各种物理效应的机械、电子元器件集成在一个基片上的传感器。微传感器是微机电系统的重要组成部分。微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS），是在微电子技术（半导体制造技术）的基础上发展起来的，它是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件组成的微型器件或系统。MEMS是融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作而成的高科技电子机械器件。上一页下一页返回8.10其他传感器随