半导体集成电路制造业清洁生产评价指标体系的构建与方法探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，半导体集成电路制造业作为现代信息技术产业的核心与基石，其重要性不言而喻。从智能手机、电脑等日常电子设备，到人工智能、大数据、物联网等前沿科技领域，再到航空航天、国防军事等关键战略行业，半导体集成电路都扮演着不可或缺的角色，堪称现代社会运行的“神经中枢”。据世界半导体贸易统计协会（WSTS）数据显示，近年来全球半导体市场规模持续增长，2023年已突破6000亿美元大关，充分彰显了该行业在全球经济体系中的关键地位与巨大影响力。

然而，半导体集成电路制造过程涉及光刻、刻蚀、薄膜沉积、