基于平面环形微腔的高精度位移传感器：设计创新与工艺优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，位移传感器作为一种能够精确测量物体位置或位移变化的关键器件，在众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。从工业自动化到航空航天，从汽车制造到医疗设备，位移传感器的身影无处不在，其性能的优劣直接影响着相关设备的精度、稳定性和可靠性。

在工业自动化领域，高精度位移传感器是实现自动化生产和精确控制的基础。以数控机床为例，它需要通过位移传感器实时监测刀具和工件的位置，从而实现高精度的加工，确保产品的尺寸精度和表面质量。在自动化生产线上，位移传感器用于控制机械手臂的运动轨迹，使其能够准确地抓取