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文件名称：光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法标准立项修订与发展报告.docx
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总页数：4 页
更新时间：2026-03-22
总字数：约3.59千字
文档摘要
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《光学元件表面疵病定量检测方法显微散射暗场成像法》标准立项与发展研究报告
EnglishTitle:DevelopmentReportontheStandardizationof“QuantitativeTestMethodforSurfaceDefectsofOpticalElements—MicroscopicScatteringDarkFieldImagingMethod”
摘要
随着惯性约束聚变、空间光学、极紫外光刻等尖端科技领域的飞速发展，对光学元件的表面质量提出了近乎苛刻的要求。表面疵病（如划痕、麻点、脏点等）作为影响光学系统性能、可