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文档摘要

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EMS150TS离子溅射镀膜仪简要操作规程

预约：

1.在大仪系统上预约该设备的使用机时，并按时刷卡登录上机，可以在本实验室

的公共电脑上提前期预约。

2.系统的中的类型：SEM镀膜请选择“SEM喷金（Au5nm）”，其他用途选择按

实际厚度收费，并根据自己的实验输入实际的镀膜厚度。

开机：

1.打开氩气和氮气气瓶阀。缓慢开启氩气钢瓶主阀门（逆时针转动），至高压指

示出瓶压读数，检查减压表读数在0.03-0.04MPa左右。

注意：Ar气钢瓶的减压阀已经调好，勿动！

2.打开镀膜仪背后右下方的电源开关。

镀膜：

1.