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文档摘要

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MEMS考试重点梳理

说明：本文档涵盖MEMS（微机电系统）考试核心考点，按“基础概念—核心技术—关键模块—性能与应用—易错点”分类，重点突出高频考点、易考点，兼顾名词解释、简答题、论述题答题思路，适配课程考试、期末复习及知识点巩固，助力快速掌握核心内容。

一、基础概念（必考，多为名词解释、选择题）

1.MEMS核心定义

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）即微机电系统，是融合微机械加工技术、微电子技术、材料科学、力学、电学等多学科的新型器件/系统，核心特征是“微型化”（尺寸通常在微米至毫米级）、“集成化”（将机械结构、电子元件、传感器/执行器集成在