基本信息

---

下载

文档摘要

---

集成电路厂工艺流程准则

一、总则

(一)目的：依据《中华人民共和国安全生产法》《中华人民共和国产品质量法》及集成电路行业基础标准，结合企业工艺流程现状，针对工序衔接不畅、工艺参数控制不严、设备维护不及时、异常处理效率低等核心问题，制定本准则。旨在规范工艺操作行为，强化过程控制，防控质量与安全风险，提升生产良率，降低运营成本。

1、明确各工序操作规范与关键控制点，确保工艺执行一致性。

2、建立工艺异常快速响应与处置机制，减少生产中断时间。

3、完善设备维护保养体系，保障工艺设备稳定运行。

(二)适用范围：覆盖企业生产部、质量部、设备部、仓储部等相关部门及一线操作工、工艺员、设备员、仓管员等岗位。