基本信息
文件名称：SEMICONDUCTOR石英管PQ181E PQ181EH PQ181E-R PQ181EH-R 用户手册.pdf
文件大小：300.39 KB
总页数：3 页
更新时间：2026-03-27
总字数：约1.99千字
文档摘要
半导体级石英管
I.应用领域
半导体级石英管广泛应用于半导体级硅片氧化、扩散等
工艺中。
II.产品特性
半导体级石英管具备纯度高、低羟基、耐高温等特性。
III.产品类型
PQ181E、PQ181EH、PQ181E-R、PQ181EH-R
IV．产品规格
外径范围外径偏差壁厚偏差偏壁度椭圆度弯曲度
OD＜100.00±1.00±10.00%15.00%1.00%0.10%