基本信息
文件名称：HZ华卓精科集成电路智能装备及关键零部件晶圆堆叠设备 精密 超精密运动平台 隔振器 激光退火设备用户手册.pdf
文件大小：2.42 MB
总页数：26 页
更新时间：2026-03-27
总字数：约1.46万字
文档摘要
华卓精科
产品介绍
北京华卓精科科技股份有限公司
公司位置
北京华卓精科科技股份有限公司（简称华卓精
科）由清华大学IC装备团队创立，是一家肩负着专
项重大科研成