MEMS六维力传感器相关专利数量不断增加人形机器人领域为其主要需求端

???MEMS六维力传感器，指在三维空间中能同时测量三个方向的力和三个方向力矩的传感器。MEMS六维力传感器具备响应速度快、灵活性好、环境适应性强、功耗低等优势，在人形机器人制造过程中拥有巨大应用潜力。

?????近年来，我国企业及相关科研机构不断加大对于MEMS六维力传感器的研究，带动其相关专利数量持续增加，主要包括《一种基于极板距离变化测量的MEMS六维力传感器》、《一种基于MEMS原理的六维力传感器器件及其制备方法》、《一种基于MEMS工艺的硅压阻式六维力传感器及其制备方法》等。未来随着研究深入，我国M