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文档摘要

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新技术、新产品、新工艺、新材料

一、新技术：基于量子点耦合的片上光谱实时校准系统

1.技术背景

传统光谱仪在晶圆级集成时面临三大痛点：波长漂移0.1nm/℃、校准周期72h、占板面积5cm2。量子点（QD）具有尺寸可调发光峰（FWHM15nm）与温度系数低（0.02nm/℃）的天然优势，但单片集成时存在“激发-发射”串扰与载流子淬灭问题。本技术通过“耦合腔+电荷耗尽层”双机制，把QD发光峰锁定在硅基AWG（阵列波导光栅）通带中心，实现片上实时校准。

2.核心原理

（1）耦合腔设计：在SOI晶圆上刻蚀L-Cavity（长度=λ/2n），使QD层位于电场腹点，增强Purcell因子至Fp