基于像散原理的并行共焦检测光学系统：设计、性能与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，光学检测技术作为一种重要的非接触式检测手段，广泛应用于生物医学、半导体制造、精密机械加工等众多领域。随着各领域对微观结构和表面形貌检测精度、速度以及分辨率等要求的不断提高，传统的光学检测方法逐渐难以满足实际需求，迫切需要开发更加先进、高效的光学检测技术。

共焦检测技术作为光学检测领域的重要分支，自20世纪50年代末由美国人Minsky提出以来，凭借其高精度、高分辨率以及独特的轴向层析原理等优点，受到了广泛的关注和深入的研究。传统的共焦显微镜采用单点扫描方式，通过逐